光刻机是做什么用的？（制作高端芯片的设备）

光刻机是制造高端芯片的核心设备。它采用了一种类似于照片打印的技术，通过光照将掩模上的精细图案打印到硅片上。

光刻机的工作原理是通过一系列光源能量和形状控制手段，将光束通过带有电路图的掩模传输，然后通过物镜补偿各种光学误差，将电路图按比例缩小后映射到硅芯片上。采用化学方法绘制刻在硅芯片在电路图上。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此，世界上只有少数厂家掌握。

用于芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为几种，用于芯片生产的光刻机有包装用的光刻机，在LED制造领域也有投影掩模对准器。

光刻工艺要经历硅片表面清洗干燥、底涂、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烤、显影、硬烤、刻蚀等过程。光刻法是利用光来制作图案。平整硅晶片表面，然后将掩模上的图案转移到光刻胶上，从而将器件或电路结构临时复制到硅晶片上的工艺。